EBSD가 부착된 고해상도 전자현미경

모델명 : Inspect F50

규격

· Resolution ? SE : 1.2mm(30kV)

- B SE : 2.5mm(330kV)

· Magnification : x14 to x 2,000,000

· Probe Current : Up to 200nA Continuously Adjustable

· Election Gun Type : Schottky FEG

· EBSD/EDS Model : Pegasus with Hikari EBSD & Apollo EDS(30mm2, 130eV)

특징

· EDS 조성분석과 EBSD 결정구조분석을 동시 분석함으로써 정확한 화학조성을 갖는 화합물의 분석이 가능

용도

· 금속, 세라믹, 반도체 소재의 미세조직 관찰

· 성분원소 분석

· 미세조직의 결정 구조 분석